纳米金刚石应用于蓝宝石衬底抛光的研究

作者：刘学璋许向阳翟海军谢圣中王绍斌
会议时间：2009-10-15
关键词：蓝宝石 ; 衬底抛光 ; 纳米金刚石 ; 亚纳米级光滑表面
作者单位：金瑞新材料科技股份有限公司 410012
母体文献：2009中国超硬材料行业技术发展论坛论文集
会议名称：2009中国超硬材料行业技术发展论坛
会议地点：郑州
主办单位：中国机床工具工业协会
语种：chi

摘要

蓝宝石是氮化镓外延生长的重要的衬底。采用Dmax≤100nm,D50为53.9nm的纳米金刚石对C(0001)定向的蓝宝石衬底进行抛光,并与SiO2的抛光效果进行比较,结果表明:两者抛光机理不同。纳米金刚石能快速消除研磨工序的划痕,获得0.157nm(AFM:20μm×20μm)的光滑表面;SiO2的抛光效率低,能获得低粗糙度的光滑表面,但不能有效消除研磨工序的划痕。纳米金刚石与SiO2的抛光效率分别为142nm/min、70.49nm/min。