基体温度对多弧离子镀TiN涂层的影响

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• 作者：张豪尚金张洁君马进军许向敏多树旺
• 会议时间：2014-12-01
• 关键词：氮化钛涂层 ; 多弧离子镀 ; 基体温度 ; 表面形貌 ; 相结构 ; 力学性能
• 作者单位：江西科技师范大学江西省材料表面工程重点实验室,江西南昌330013
• 母体文献：第十四届全国金相与显微分析学术年会论文集
• 会议名称：第十四届全国金相与显微分析学术年会
• 会议地点：厦门
• 主办单位：中国体视学学会
• 语种：chi
• 分类号：TG1;O73

摘要

TiN涂层具有硬度高,耐磨损等优良特性,为了研究基体温度对TiN涂层形貌、相结构及其力学性能的影响,本文采用多弧离子镀技术制备了TiN涂层.研究结果表明:TiN涂层为金黄色,表面形貌及相结构受温度影响不明显,涂层表面有大颗粒存在,涂层为Ti、Ti2N和TiN三相共存结构.膜基结合强度随着温度的升高呈现先上升后下降的趋势,而涂层硬度随温度升高一直升高,300℃后变得缓慢.涂层在300℃时具有最优良的力学性能.