Cu-Zr纳米多层膜应变速率敏感性与激活体积

作者：王尧朱晓莹杜军郭桦樟刘贵民
会议时间：2015-08-01
关键词：纳米多层膜 ; 磁控溅射技术 ; 应变速率敏感指数 ; 激活体积
作者单位：装甲兵工程学院装备再制造工程系,北京100072
母体文献：2015年全国堆焊再制造技术学术会议论文集
会议名称：2015年全国堆焊再制造技术学术会议
会议地点：太原
主办单位：中国机械工程学会
语种：chi
分类号：O34;TG1

摘要

本文采用磁控溅射技术制备了调制周期λ=12nm,20nm,40nm的Cu-Zr纳米多层膜,调制比η=1.通过X射线衍射、扫描电子显微镜对多层膜的微观结构进行研究,利用纳米压痕仪在0.0ls-1、0.03s-1、0.05s-1、0.1s-1、0.2s-1、0.5S-1应变速率下进行连续刚度实验.Cu/Zr纳米多层膜随应变速率升高出现了应变硬化现象,且通过激活体积和应变速率敏感指数的分析表明形变机理是位错-晶界之间的相互作用主导的.