作者：高迪 ; 林松盛 ; 许伟 ; 邹俭鹏 ; 杨洪志

关键词：高功率脉冲 ; 磁控溅射 ; 类金刚石薄膜 ; 微观结构 ; 纳米硬度

年：2019

作者：姚婷婷 ; 仲召进 ; 李刚 ; 汤永康 ; 杨勇 ; 金克武 ; 沈洪雪 ; 王天齐 ; 彭塞奥 ; 金良茂 ; 沈鸿烈 ; 甘治平 ; 马立云

关键词：AZO薄膜 ; 表面形貌 ; 微纳结构 ; 靶电压 ; 电学性能 ; 雾度

年：2018

作者：艾猛 ; 李刘合 ; 韩明月 ; 苗虎

关键词：高功率脉冲磁控溅射 ; 放电特性 ; 靶电流 ; 自溅射 ; 气体循环 ; 二次电子 ; 气体稀薄效应 ; 焦耳加热效应

年：2018

作者：郭杏元 ; 罗志鹏 ; 战永刚

关键词：等离子体辉光发射监控技术(PEM) ; 磁控溅射 ; 减反射膜 ; 氧化硅 ; 氧化铌

年：2018

作者：李春伟 ; 田修波 ; 徐淑艳 ; 郑权 ; 张群利 ; 陈春晟 ; 张旭

关键词：高功率脉冲磁控溅射 ; 辅助阳极 ; 工作气压 ; 靶基间距 ; 钒膜 ; 放电特性

年：2018

作者：李民久 ; 姜亚南 ; 贺岩斌 ; 熊涛 ; 陈庆川

关键词：中频磁控溅射 ; LCC ; 正弦波 ; 等离子体

年：2018

作者：谢启 ; 付志强 ; 岳文 ; 王成彪

关键词：等离子体增强磁控溅射 ; TiN涂层 ; N_2流量 ; 迟滞回线 ; 微观结构 ; 摩擦磨损性能

年：2017

作者：李春伟 ; 田修波 ; 巩春志 ; 许建平

关键词：高功率脉冲磁控溅射 ; 氩气气压 ; V靶 ; 放电靶电流 ; 放电光谱特性 ; V薄膜

年：2016

作者：饶益花 ; 陈文光 ; 胡波

关键词：多模式 ; 磁控溅射 ; 镀膜 ; 电源

年：2017

作者：肖舒 ; 吴忠振 ; 崔岁寒 ; 刘亮亮 ; 郑博聪 ; 林海 ; 傅劲裕 ; 田修波 ; 潘锋 ; 朱剑豪

关键词：高功率脉冲磁控溅射 ; 筒形溅射源 ; 模拟仿真 ; 放电特性

年：2016