作者：李美萱 ; 李宏 ; 张斯淇 ; 郭明 ; 付秀华

关键词：光学薄膜 ; 光束稳定系统 ; 非均匀性 ; 吸收损耗 ; 散射损耗

年：2019

作者：毕丹丹 ; 张立超 ; 时光

关键词：浸没式光刻 ; 光学薄膜 ; 膜系设计 ; 环境适应性 ; 激光辐照寿命

年：2018

作者：李美萱 ; 董连和

关键词：浸没式光刻照明系统 ; 照明模式变换 ; 衍射光学元件 ; 光瞳整形

年：2018

作者：李美萱 ; 王丽 ; 董连和

关键词：光学设计 ; 变焦光学系统 ; 非球面 ; 浸没式光刻 ; 照明系统

年：2018

作者：李美萱 ; 阚晓婷 ; 王美娇

关键词：均匀性补偿器 ; 浸没式光刻 ; 高分辨率 ; 传统照明 ; 离轴照明

年：2019

作者：李美萱 ; 阚晓婷 ; 王美娇 ; 李博

关键词：光学设计 ; 光刻照明系统 ; 光束传输系统 ; 柱面镜

年：2018

作者：诸波尔 ; 李思坤 ; 王向朝 ; 戴凤钊 ; 唐锋 ; 段立峰

关键词：检测 ; 光刻 ; 高阶波像差 ; 多偏振照明 ; 空间像 ; 主成分分析

年：2018

作者：段晨 ; 宗明成 ; 范伟 ; 孟璐璐

关键词：光学设计 ; 浸没光刻 ; 对焦控制 ; 误差 ; 集成电路

年：2018

作者：李美萱 ; 王丽 ; 董连和 ; 赵迎

关键词：浸没式光刻 ; 照明系统 ; 非球面 ; 优化控制

年：2017

作者：孙雨潇 ; 田照宇 ; 杨帆 ; 钱升起 ; 邓春雪 ; 肖磊

关键词：OTN ; 10G ; 100G ; 混合传输

年：2019