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1.
阳极氧化Ta_2O_5
薄膜电容
制作工艺研究
论文作者:
宋振国
;
王斌
论文关键词:
薄膜电容
;
阳极氧化
;
Ta_2O_5薄膜
;
击穿电压
会议召开时间:2017-05-08
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