CNKI学位论文(3)
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1.
点衍射干涉仪
基准波前
质量测评研究
作者：
邵晶
关键词：
极紫外光刻
;
点衍射干涉仪
;
基准波前
;
光学检测
;
相位复原
论文级别：
博士
学位年度：2013
2.
极紫外光刻物镜系统波像差检测技术研究
作者：
张宇
关键词：
极紫外光刻
;
物镜系统波像差
;
相位提取
;
误差源
;
相位解包裹
;
波前
参考源
;
检测精度
;
波面重复精度
论文级别：
博士
学位年度：2012
3.
基于液晶空间光调制的
波前
可控技术研究
作者：
陈栋
关键词：
液晶
;
空间光调制器
;
波前
传感器
论文级别：
硕士
学位年度：2011
1
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