CNKI学位论文(2)
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1.
10纳米以下图形电子束曝光的研究
作者：
段辉高
关键词：
高分辨电子束曝光
;
纳米加工
;
石墨烯
;
毛细力
自组装
论文级别：
博士
学位年度：2010
2.
毛细力光刻
技术及其应用研究
作者：
张登英
关键词：
毛细力光刻
;
去润湿现象
;
软
光刻
;
亚波长抗反射结构
;
相场理论
论文级别：
博士
学位年度：2013
1
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