CNKI学位论文(8)
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1.
基于CGH高精度非球面检测技术研究
作者：
冯婕
关键词：
计算全息
;
非球面检测
;
基底误差
;
条纹位置误差
;
双重位相全息图
论文级别：
博士
学位年度：2014
2.
投影光刻物镜光学元件的离子束精修技术研究
作者：
谷勇强
关键词：
投影光刻物镜
;
Fizeau干涉仪
;
绝对检测
;
计算全息
;
离子束面形精修
;
非球面加工
论文级别：
博士
学位年度：2013
3.
利用光镊研究胶体凝胶的老化
作者：
孟炳寰
关键词：
光镊
;
胶体
;
老化
;
捕获效率
论文级别：
博士
学位年度：2008
4.
离轴非球面的组合全息检验
作者：
李世杰
关键词：
光学测量
;
零位补偿检测
;
离轴非球面
;
计算全息图
;
B-spline
论文级别：
博士
学位年度：2014
5.
极紫外光刻物镜系统波像差检测技术研究
作者：
张宇
关键词：
极紫外光刻
;
物镜系统波像差
;
相位提取
;
误差源
;
相位解包裹
;
波前参考源
;
检测精度
;
波面重复精度
论文级别：
博士
学位年度：2012
6.
高精度球面面形绝对检测方法研究
作者：
王东升
关键词：
干涉检测
;
绝对检测
;
球面面形
;
误差分析
论文级别：
硕士
学位年度：2011
7.
光学面形绝对检测技术研究
作者：
苏东奇
关键词：
绝对检测
;
旋转平移绝对检测
;
两球面绝对检测
;
不确定度
论文级别：
博士
学位年度：2013
8.
高精度点衍射球面干涉检测技术及系统研究
作者：
王道档
关键词：
光学检测
;
点衍射干涉技术
;
针孔点衍射
;
测量误差
;
球面
论文级别：
博士
学位年度：2012
1
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