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地学标准
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1.
高分辩率X射线衍射测量
GaAs
衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法
标准编号:GB/T 24576-2009
标准类型:国家标准
关键词:硅 ;
化学分析和试验
;
半导体
;
含量测定
发布单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
发布日期:2009-10-30
实施日期:2010-06-01
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