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1.
复合量程微加速度计的研究
作者:
熊继军毛海央张文栋徐栋郭涛
关键词:
复合量程微加速度计
;
压阻式
;
抗过载
;
体硅工艺
;
线性度
;
传感器
会议时间:2006-09-21
2.
力平衡框架结构加速度计的设计
作者:
陈伟平赵振刚刘晓为韩天
关键词:
微机械加速度计
;
闭环系统
;
框架结构
;
差分电容式
;
ICP刻蚀
;
静电键合工艺
会议时间:2006-09-21
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