摘要
采用闭合场非平衡磁控溅射法,在不同氮氩比条件下制备了TiN涂层.利用扫描电镜、X射线衍射、显微硬度计和划痕仪研究了氮氩流量比对涂层组织和性能的影响.研究结果表明:不同氮氩比条件下,直流溅射TiN涂层表面形貌呈现明显的不同.当氮氩流量比λN2/Ar为35∶20时,涂层中Ti、N原子比接近1∶1;所有TiN涂层中都是Ti2N和TiN共存,但是氮氩流量比对涂层中相晶面择优取向有很大影响;涂层的硬度和结合力随氮氩流量比的增加先上升后下降,且当氮氩流量比λN2/Ar为35∶20时,硬度和结合力达到最大值,分别为5383HV0.01和16.00N.