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1.
氮氩流量比
对闭合场非平衡磁控溅射沉积TiN涂层组织结构及力学性能的影响
作者:
尚金张豪张洁君多树旺徐志文
关键词:
氮化钛涂层
;
氮氩流量比
;
表面形貌
;
结构硬度
;
结合力
会议时间:2014-12-01
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