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1.
In2O3/ITO集成薄膜热电偶的制备及性能研究
作者:
刘海军
关键词:
磁控溅射
;
热电偶
;
集成薄膜
;
高温稳定性
;
热电性能
;
温度测量
授予学位:硕士
学位授予单位:电子科技大学
学位年度:2015
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