作者：王燕 ; 陈俊芳 ; 熊文文 ; 王勇

关键词：Zn3N2薄膜 ; 磁控溅射 ; 氮氩流量比 ; 晶体结构 ; 微观结构

年：2018

作者：顾宝宝 ; 赵青南 ; 刘旭 ; 罗乐平 ; 丛芳玲 ; 赵修建

关键词：磁控溅射 ; 玻璃基TiN薄膜 ; 硬度 ; 氮氩流量比

年：2016

作者：梁启超 ; 王天国

关键词：多弧离子镀 ; TiAlN薄膜 ; 氮氩流量比 ; M2高速钢 ; 组织结构 ; 抗氧化性能

年：2017

作者：张聪惠 ; 高鹏 ; 王耀勉 ; 胡晓

关键词：基材HESP ; TiN薄膜 ; 薄膜生长 ; 力学性能

年：2018

作者：王晓奇 ; 曹慧 ; 雷彪

关键词：纳米复合涂层 ; 微观结构 ; 磁控溅射 ; 机床 ; 涂层厚度

年：2018

作者：袁燕 ; 李花 ; 张海宝 ; 杨丽珍 ; 刘忠伟 ; 陈强

关键词：磁控溅射 ; 氮化铬薄膜 ; 氮流量比 ; 孪生靶

年：2016

作者：曹慧 ; 张发 ; 孟超平

关键词：磁控溅射 ; TiAlN薄膜 ; 微观结构 ; 摩擦磨损 ; 纳米 ; 显微硬度

年：2016

作者：肖娜 ; 杜菲菲 ; 邢韵

关键词：反应磁控溅射 ; TiN薄膜 ; 沉积时间 ; 基板温度 ; 结合力

年：2015

作者：陈昌浩 ; 金永中 ; 刘东亮 ; 余学金

关键词：多弧离子镀 ; Ti ; N涂层 ; 负偏压 ; Image ; J软件 ; 大颗粒 ; 像素分布

年：2015

作者：王晓阳 ; 冯文然 ; 周海 ; 姚静 ; 李健

关键词：PbSe薄膜 ; 磁控溅射 ; 膜厚 ; 光学性能

年：2014